9783030094553 - physical design and mask synthesis for directed self-assembly lithography (nanoscience and technology) von shim, seongbo; shin, youngsoo (8 Ergebnisse)
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Zustand: New. Introduces a highly promising patterning solution for next generation technologyProvides a comprehensive overview of directed self-assembly lithography (DSAL) friendly physical design and DSAL-aware mask synthesis Written by leading .
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography | Seongbo Shim (u. a.) | Taschenbuch | xiv | Englisch | 2019 | Springer | EAN 9783030094553 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com…| Anbieter: preigu.
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthes…is as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.
