Handbook micromachining microfabrication (3 Ergebnisse)
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks; P. Rai-Choudhury [Editor]
Sprache: Englisch
Verlag: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
- Hardcover
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