Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Vol.1 (Press Monographs) - Hardcover
Inhaltsangabe
Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe
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Reseña del editor
The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
ISBN 10: 0819423785
ISBN 13: 9780819423788
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Microlithography
Verlag:
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
ISBN 10: 0819423785
ISBN 13: 9780819423788
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