9783030067472 - metal impurities in silicon- and germanium-based technologies: origin, characterization, control, and device impact (springer series in materials science, band 270) von claeys, cor; simoen, eddy (3 Ergebnisse)
Sprache: Englisch
Verlag: Springer, 2019
Serie: Buch 186 von 233 - Springer Series in Materials Science
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies | Origin, Characterization, Control, and Device Impact | Cor Claeys (u. a.) | Taschenbuch | Springer Series in Materials Science | xxxiii | Englisch | 2019 | Springer | EAN 9783030067472 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag G…mbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu.
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental propertie…s, their characterization techniques and their impact on electrical devices' performance. Several control and possible gettering approaches are addressed.The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.
