ISBN: 9781489918062 - rapid thermal processing of semiconductors (microdevices) (3 Ergebnisse)
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Rapid Thermal Processing of Semiconductors | Victor E. Borisenko (u. a.) | Taschenbuch | Microdevices | xxii | Englisch | 2013 | Springer | EAN 9781489918062 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu. …
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.…
