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Rapid Thermal Processing of Semiconductors (Microdevices) - Softcover

Borisenko, Victor E. E.; Hesketh, Peter J.

 
9781489918062: Rapid Thermal Processing of Semiconductors (Microdevices)
Softcover
ISBN 10: 148991806X ISBN 13: 9781489918062
Verlag: Springer, 2013

Inhaltsangabe

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Springer
Erscheinungsdatum
2013
Sprache
Englisch
ISBN 10 
148991806X
ISBN 13 
9781489918062
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
384
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