An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Sprache: Englisch

Verlag: Artech House Publishers, US, 1999

0890065810 / 9780890065815

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A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

Bestandsnummer des Verkäufers LU-9780890065815

Titel
An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Autor
Nadim Maluf
Verlag
Artech House Publishers, US
Erscheinungsjahr
1999
Zustand
New
Einband
Hardback
Sprache
Englisch
ISBN-10
0890065810
ISBN-13
9780890065815
Auflage
2nd.
Artikelgewicht
600 Gramm
Abmessungen
16.08 x 2.41 x 23.6 cm

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