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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Microelectromechanical Systems S.) - Hardcover
Inhaltsangabe
A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.
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Über die Autorin bzw. den Autor
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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- VerlagArtech House Publishers
- Erscheinungsdatum1999
- ISBN 10 0890065810
- ISBN 13 9780890065815
- EinbandTapa dura
- SpracheEnglisch
- Auflage2
- Anzahl der Seiten292
- Kontakt zum HerstellerNicht verfügbar
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Beispielbild für diese ISBN
An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Verlag:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
Gebraucht
Hardcover
Anbieter: Anybook.com, Lincoln, Vereinigtes Königreich
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Zustand: Good. This is an ex-library book and may have the usual library/used-book markings inside.This book has hardback covers. Clean from markings. In good all round condition. Please note the Image in this listing is a stock photo and may not match the covers of the actual item,750grams, ISBN:9780890065815. Artikel-Nr. 9722792
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Anbieter: Better World Books, Mishawaka, IN, USA
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Zustand: Good. Used book that is in clean, average condition without any missing pages. Artikel-Nr. 5307233-6
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)
Verlag:
ARTECH HOUSE INC 01.12.1999., 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Hardcover
Anbieter: NEPO UG, Rüsselsheim am Main, Deutschland
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Zustand: Sehr gut. Auflage: 2. 292 Seiten Exemplar aus einer wissenchaftlichen Bibliothek Altersfreigabe FSK ab 0 Jahre Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 969 15,2 x 2,1 x 22,9 cm, Gebundene Ausgabe. Artikel-Nr. 402529
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Anbieter: Ria Christie Collections, Uxbridge, Vereinigtes Königreich
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Zustand: New. In. Artikel-Nr. ria9780890065815_new
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Verlag:
GB Gardners Books|Artech House Books, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Anbieter: moluna, Greven, Deutschland
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Zustand: New. InhaltsverzeichnisMEMS - a technology from Lilliput the sandbox - listing materials for MEMS the toolbox - processes for micromachining the gearbox - commercial MEM structures and order systems the new gearbox - a peek into the futur. Artikel-Nr. 898961688
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Verlag:
Artech House Publishers Nov 1999, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
Neu
Hardcover
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
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Buch. Zustand: Neu. Neuware - Here's the first non-technical introduction to the exciting field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS -- including silicon, polymers and glass and quartz substrates -- as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. Artikel-Nr. 9780890065815
Anzahl: 2 verfügbar