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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library) - Hardcover
Inhaltsangabe
Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.
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Über die Autorin bzw. den Autor
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Verlag:
Artech House Publishers, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Hardback. Zustand: Good. A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies. Artikel-Nr. 00099713000
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
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Artech House Publishers, 2000
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
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