Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
Chapman, Brian
ISBN 10: 047107828X ISBN 13: 9780471078289
Verlag: Wiley-Interscience, 1980
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Inhaltsangabe:
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.
Über die Autorin bzw. den Autor:
Brian Chapman is the author of Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching, published by Wiley.
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Bibliografische Details
Titel: Glow Discharge Processes: Sputtering and ...
Verlag: Wiley-Interscience
Erscheinungsdatum: 1980
Einband: Hardcover
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