Inhaltsangabe
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.
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Über die Autorin bzw. den Autor
Brian Chapman is the author of Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching, published by Wiley.
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Zustand: New. Num Pages: 432 pages, illustrations, bibliography, index. BIC Classification: PHK. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly; (UU) Undergraduate. Dimension: 236 x 164 x 29. Weight in Grams: 762. . 1980. 1st Edition. Hardcover. . . . . Books ship from the US and Ireland. Artikel-Nr. V9780471078289
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