Materials, Processes, and Reliability for Advanced Interconnects for Micro- and Nanoelectronics ― 2011: Volume 1335: Symposium Held April 25-29, 2011, ... California, U.s.a. (MRS Proceedings) - Hardcover

9781605113128: Materials, Processes, and Reliability for Advanced Interconnects for Micro- and Nanoelectronics ― 2011: Volume 1335: Symposium Held April 25-29, 2011, ... California, U.s.a. (MRS Proceedings)

Hardcover

ISBN 10: 1605113123 ISBN 13: 9781605113128

Verlag: Materials Research Society, 2011

This volume includes papers from 'Materials, Processes, and Reliability for Advanced Interconnects for Micro- and Nanoelectronics' symposium, 2011 MRS Spring Meeting.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Rese�a del editor

This volume includes selected papers based on the presentations given at Symposium O, 'Materials, Processes, and Reliability for Advanced Interconnects for Micro- and Nanoelectronics', held at the April 25-29, 2011 MRS Spring Meeting in San Francisco, California. The symposium included topics relating to low-k dielectrics, integration, reliability, metallization, packaging and emerging technologies.

Product Description

Mats Proc Reliblty Adv Inter V1335 Hb editado por Cambridge

��ber diesen Titel� kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag: Materials Research Society
Erscheinungsdatum: 2011
Sprache: Englisch
ISBN 10: 1605113123
ISBN 13: 9781605113128
Einband: Tapa dura
Anzahl der Seiten: 140
Herausgeber: Baklanov Mikhail R., Dubois Geraud, Dussarrat Christian, Kokubo Terukazu, Ogawa Shinichi
Kontakt zum Hersteller: Nicht verf�gbar
Verantwortliche Person: Nicht verf�gbar

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MATERIALS, PROCESSES, AND RELIABILITY FOR ADVANCED INTERCONNECTS FOR MICRO- AND NANOELECTRONICS �" 2011

MIKHAIL R. BAKLANOV, IMECGERAUD DUBOIS, IBM ALMADEN RESEARCH CENTERCHRISTIAN DUSSARRAT, AIR LIQUIDETERUKAZU KOKUBO, NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGYSHINICHI OGAWA, JSR TSUKUBA RESEARCH LABORATORIES DIV CLASS="CONTRIBUTORSPEOPLE">DIV CLASS="CONTRIBUTORSPEOPLEHIDDEN">MARIANNA PANTOUVAKI, ANTHONY GRUNENWALD, SHOKO ONO, HEE-WOO RHEE, JOHN H. ZHANG, QUOC TOAN LE, SVEN ZIMMERMANN, VALERI AFANAS'EV, NAN LU, WIM BOGAERTS, SHAONING YAO, NEDA DALILI, JON GUDMUNDSSON, PATRIC

Verlag: Materials Research Society, 2011

ISBN 10: 1605113123 ISBN 13: 9781605113128

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