Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide - Hardcover

Tompkins, Harland G.; McGahan, William A.

 
9780471181729: Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide
Hardcover
ISBN 10: 0471181722 ISBN 13: 9780471181729
Verlag: Wiley-Interscience, 1999

Inhaltsangabe

While single wave ellipsometry has been around for years, spectroscopic ellipsometry is fast becoming the method of choice for measuring the thickness and optical properties of thin films. This book provides the first practical introduction to spectroscopic ellipsometry and the related techniques of reflectometry. A guide for practitioners and researchers in a variety of disciplines, it addresses a broad range of applications in physics, chemistry, electrical engineering, and materials science.

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Über die Autorin bzw. den Autor

Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.

William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.

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Verlag
Wiley-Interscience
Erscheinungsdatum
1999
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0471181722
ISBN 13 
9780471181729
Einband
Gebundene Ausgabe
Auflage
1
Anzahl der Seiten
248
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