JVST A - Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. Second Series, Volume 16, 1998, Number 1, 2, 3/1, 3/2, 4, 5, 6 (= 7 Bände). Papers from the International Workshop on Basic Aspects of Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces.

American Vacuum SocietyG. Lucovsky und J.R. Abelson:

Verlag: American Institute of Physics, New York, 1998
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