Silicon semiconductor technology processing von hilleringmann ulrich (4 Ergebnisse)
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching,doping and thermal processes for integrating CMOS- a…nd Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includesmodern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Silicon Semiconductor Technology | Processing and Integration of Microelectronic Devices | Ulrich Hilleringmann | Taschenbuch | xi | Englisch | 2023 | Springer Gabler | EAN 9783658410407 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Vieweg in Springer Science + Business Media, Abraham-Lincoln-Str. 46,…65189 Wiesbaden, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu.
