Sige strained layer epitaxy silicon (3 Ergebnisse)
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Zustand: gut. 2006. Silicon Heterostructure Handbook: Materials, Fabrication, Devices, Circuits, And Applications Of SiGe And Si Strained-Layer Epitaxy In englischer Sprache. pages.
Cressler, J: SiGe and Si Strained-Layer Epitaxy for Silicon
John D. Cressler (Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA)
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Buch. Zustand: Neu. Neuware - Focuses on the materials science aspects of silicon heterostructure. This book defines the various advances in the Si-SiGe strained-layer epitaxy for device applications. It covers modern SiGe epitaxial growth techniques, EPI defects and dopant diffusion in thin films, stability constraints, and electronic properties of SiGe and Si-C alloys. …
