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Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices
Anbieter: Ria Christie Collections, Uxbridge, Vereinigtes Königreich
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Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices
Sprache: Englisch
Verlag: BERTRAMS PRINT ON DEMAND Apr 2003, 2003
ISBN 10: 0444513396 ISBN 13: 9780444513397
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
Taschenbuch. Zustand: Neu. Neuware - This volume is a collection of papers which were presented at the 2001 International Conference on Rapid Thermal Processing (RTP 2001) held at Ise Shima, Mie, on November 14-16, 2001. This symposium is second conference followed the previous successful first International RTP conference held at Hokkaido in 1997. The RTP 2001 covered the latest developments in RTP and other short-time processing continuously aiming to point out the future direction in the Silicon ULSI devices and II-VI, III-V compound semiconductor devices.
