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process variations microsystems manufacturing von huff michael (3 Ergebnisse)
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Process Variations in Microsystems Manufacturing (Microsystems and Nanosystems)
Buch 7 von 9: Microsystems and NanosystemsAnbieter: Ria Christie Collections, Uxbridge, Vereinigtes Königreich
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Process Variations in Microsystems Manufacturing
Buch 7 von 9: Microsystems and NanosystemsSprache: Englisch
Verlag: Springer International Publishing, 2020
ISBN 10: 3030405583 ISBN 13: 9783030405588
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
Buch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps. The book places an emphasis on the process variations in the device dimensions resulting from these commonly used processing steps. This will be followed by coverage of commonly used metrology methods, process integration and variations in material properties, device parameter variations, quality assurance and control methods, and design methods for handling process variations. A detailed analysis of future methods for improved microsystems manufacturing is also included. This book is a valuable resource for practitioners, researchers and engineers working in the field as well as students at either the undergraduate or graduate level.
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Process Variations in Microsystems Manufacturing
Buch 7 von 9: Microsystems and NanosystemsAnbieter: Revaluation Books, Exeter, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
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