Microelectronic test pattern nbs 3 evaluating von buehler martin (1 Ergebnisse)

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Microelectronic Test Pattern NBS-3 for Evaluating the Resistivity - Dopant Density Relationship of Silicon. ( Seimiconductor Measurement Technology ).
Buehler, Martin G.
Verlag: NBS Special Publication 400-22, 1976, 49 Pp., 1976
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