9783540204817 - predictive simulation of semiconductor processing: status and challenges (springer series in materials science, 72, band 72) (5 Ergebnisse)
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Buch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Predictive Simulation of Semiconductor Processingenables researchers and developersto extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed i…n device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.
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