9783527346684 - atomic layer processing: semiconductor dry etching technology von lill, thorsten (8 Ergebnisse)

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Kartoniert / Broschiert. Zustand: New. Thorsten Lill is a Vice President for Emerging Etch Technologies and Systems at Lam Research, the market leader in etching tools for the semiconductor industry. He has been working in the field of plasma, radical, thermal, ion beam and plasma etching since .

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Taschenbuch. Zustand: Neu. Atomic Layer Processing | Semiconductor Dry Etching Technology | Thorsten Lill | Taschenbuch | XIV | Englisch | 2021 | Wiley-VCH | EAN 9783527346684 | Verantwortliche Person für die EU: Wiley-VCH GmbH, Boschstr. 12, 69469 Weinheim, product-safety[at]wiley[dot]com | Anbieter: preigu.

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Taschenbuch. Zustand: Neu. Neuware - This practical guide, written by an author actively involved in corporate R&D, provides in-depth information on etching technologies that are used in the semiconductor industry, helping engineers to select the right technologies for their task and to design etching processes.