9783030232986 - flash lamp annealing: from basics to applications (springer series in materials science, 288, band 288) von rebohle, lars; prucnal, slawomir; reichel, denise (4 Ergebnisse)
Sprache: Englisch
Verlag: Springer, 2019
Serie: Springer Series in Materials Science, Buch 201 von 233. Buch 201 von 233 - Springer Series in Materials Science
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Buch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues…are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users.
Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications
Rebohle, Lars (Author)/ Prucnal, Slawomir (Author)/ Reichel, Denise (Author)
Sprache: Englisch
Verlag: Springer, 2019
Serie: Springer Series in Materials Science, Buch 201 von 233. Buch 201 von 233 - Springer Series in Materials Science
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Verlag: Springer, 2019
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