ISBN: 9781138600805 - physics of radiofrequency capacitive discharge (3 Ergebnisse)
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Savinov, V: Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge
V. P. Savinov (Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia)
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Gebunden. Zustand: New. V. P. SavinovThis book describes the physical mechanism of high-frequency (radio-frequency) capacitive discharge (RFCD) of low and medium pressure and the properties of discharge plasma in detail. The main properties and characteristics of.
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