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9780849386442 - Radio-Frequency Capacitive Discharges von Raizer, Yuri P.; Shneider, Mikhail N. (1 Ergebnisse)
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Radio-Frequency Capacitive Discharges
Sprache: Englisch
Verlag: Taylor & Francis Inc Feb 1995, 1995
ISBN 10: 0849386446 ISBN 13: 9780849386442
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
Buch. Zustand: Neu. Neuware - Describes radio-frequency (rf) capacitive gas discharges of intermediate and low pressure and their application to gas laser excitation and to plasma processing. This work provides a treatment of the physics underlying rf discharges, techniques for generating such discharges, experimental methods and measurement techniques, and research results.
