9780819413635 - handbook of critical dimension metrology and process control: proceedings of a conference held 28-29 september 1993 monterey, california (critical reviews of optical science & technology) von society of photo-optical instrumentation engineers (1 Ergebnisse)

Verlag: Bellingham SPIE Optical Engineering Press 1994
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Original-Leinwand; kl. 4°; x 358 Seiten. Gutes bis sehr gutes Exemplar. Sprache: Englisch Critical Reviews of Optical Science and Technology Volume CR52. 950 gr.