9780521591751 - plasma processes for semiconductor fabrication (cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering) (cambridge studies in ... physics and microelectronic engineering, 8) von hitchon, w. nicholas g. (9 Ergebnisse)
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Olnbd.m.Oumschl. Zustand: Sehr gut. Zustand des Schutzumschlags: Gut. 4 Olnbd.m.Oumschl. en Elektronik, Naturwissenschaften, Physik (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering 8); IX pp., 221 pp. Schutzumschlag: Gut.
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Zustand: Sehr gut. Zustand: Sehr gut | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher | An up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication.
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Hardcover. Zustand: gut. 2014. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication In englischer Sprache. pages.
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Zustand: New. An up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication. Series: Cambridge Studies in Semiconductor Physics & Microelectronic Engineering. Num Pages: 232 pages, 31 b/w illus. 2 tables 33 exercises. BIC Classification: TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 253 x 1…77 x 14. Weight in Grams: 650. . 1999. Illustrated. hardcover. . . . . Books ship from the US and Ireland.
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Buch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-contained book provides an up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication. It presents the basic physics and chemistry of t…hese processes, and shows how they can be accurately modelled. The author begins with an overview of plasma reactors, and discusses the various models for understanding plasma processes. He then covers plasma chemistry, and describes in detail the modelling of complex plasma systems, with reference to experimental results. The book closes with a useful glossary of technical terms. No prior knowledge of plasma physics is assumed in the book. It contains many exercises and will serve as an ideal introduction to plasma processing and technology for graduate students of electrical engineering and materials science. It will also be a useful reference for practising engineers in the semiconductor industry.
