X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
Sprache: Englisch
Verlag: Taylor and Francis Inc, US, 2006
- Hardcover
- Neu

Anbieter: Rarewaves.com UK, London, Vereinigtes KönigreichRarewaves.com UK
Verkäufer:in bei ZVAB seit 11. Juni 2025
Zustand: Neu
EUR 319,03
Anzahl: 1 verfügbar
In den WarenkorbArtikelbeschreibung des Verkäufers
The scales involved in modern semiconductor manufacturing and microelectronics continue to plunge downward. Effective and accurate characterization of materials with thicknesses below a few nanometers can be achieved using x-rays. While many books are available on the theory behind x-ray metrology (XRM), X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing is the first book to focus on the practical aspects of the technology and its application in device fabrication and solving new materials problems.Following a general overview of the field, the first section of the book is organized by application and outlines the techniques that are best suited to each. The next section delves into the techniques and theory behind the applications, such as specular x-ray reflectivity, diffraction imaging, and defect mapping. Finally, the third section provides technological details of each technique, answering questions commonly encountered in practice. The authors supply real examples from the semiconductor and magnetic recording industries as well as more than 150 clearly drawn figures to illustrate the discussion. They also summarize the principles and key information about each method with inset boxes found throughout the text.Written by world leaders in the field, X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing provides real solutions with a focus on accuracy, repeatability, and throughput.…
Bestandsnummer des Verkäufers LU-9780849339288
- Titel
- X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
- Autor
- D. Keith Bowen, Brian K. Tanner
- Verlag
- Taylor and Francis Inc, US
- Erscheinungsjahr
- 2006
- Zustand
- New
- Einband
- Hardback
- Sprache
- Englisch
- ISBN-10
- 0849339286
- ISBN-13
- 9780849339288
- Artikelgewicht
- 544 Gramm
Following a general overview of the field, the first section of the book is organized by application and outlines the techniques that are best suited to each. The next section delves into the techniques and theory behind the applications, such as specular x-ray reflectivity, diffraction imaging, and defect mapping. Finally, the third section provides technological details of each technique, answering questions commonly encountered in practice. The authors supply real examples from the semiconductor and magnetic recording industries as well as more than 150 clearly drawn figures to illustrate the discussion. They also summarize the principles and key information about each method with inset boxes found throughout the text.
Written by world leaders in the field, X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing provides real solutions with a focus on accuracy, repeatability, and throughput.
„Inhaltsangabe“ gehört möglicherweise zu einer anderen Auflage dieses Titels.
Über die Autorin bzw. den Autor
„Über diesen Titel“ gehört möglicherweise zu einer anderen Auflage dieses Titels.
Rarewaves.com UK
London, Vereinigtes Königreich
Verkäufer:in bei ZVAB seit 11. Juni 2025
Versandkosten von Vereinigtes Königreich nach USA
| Artikel | 60 bis 60 Werktage | 60 bis 60 Werktage |
|---|---|---|
| Erster Artikel | EUR 77,97 | EUR 119,96 |
Zahlungsarten
Unternehmensdaten der Verkäuferin bzw. des Verkäufers
RAREWAVES.COM LIMITED
Elsley Court, 20-22 Great Titchfield Street
London, Vereinigtes Königreich W1W 8BE
Widerrufsrecht
Wenn Sie Verbraucher sind, können Sie gemäß den folgenden Bestimmungen vom Vertrag zurücktreten. Verbraucher ist jede natürliche Person, die zu Zwecken handelt, die nicht ihrer kaufmännischen, gewerblichen, künstlerischen oder beruflichen Tätigkeit zugerechnet werden können.
Informationen zum Widerrufsrecht
Gesetzliches Widerrufsrecht
Sie haben das Recht, den Vertrag innerhalb von 14 Tagen ohne Angabe von Gründen zu widerrufen.
Die Widerrufsfrist beträgt 14 Tage ab dem Tag, an dem Sie oder ein von Ihnen benannter Dritter, der nicht der Transporteur ist, die letzte Ware oder den letzten Posten oder das letzte Exemplar in Besitz genommen hat.
Um das Widerrufsrecht auszuüben, füllen Sie auf unserer Website unter „Meine Einkäufe" in „Mein Nutzerkonto" eine eindeutige Erklärung elektronisch aus und senden Sie sie ab. Wir werden Ihnen unverzüglich eine Bestätigung über den Eingang eines solchen Widerrufs auf einem dauerhaften Datenträger (z. B. per E-Mail) übermitteln.
Um die Widerrufsfrist einzuhalten, reicht es aus, dass Sie Ihre Mitteilung über die Ausübung des Widerrufsrechts vor Ablauf der Widerrufsfrist absenden.
Auswirkungen des Widerrufs
Wenn Sie diesen Vertrag widerrufen, erstatten wir Ihnen alle Zahlungen, die wir von Ihnen erhalten haben, einschließlich der Lieferkosten (mit Ausnahme der zusätzlichen Kosten, die entstehen, wenn Sie eine andere Art der Lieferung als die von uns angebotene günstigste Standardlieferung gewählt haben).
Wir können einen Abzug von der Rückerstattung für den Wertverlust der gelieferten Waren vornehmen, wenn der Verlust auf eine unnötige Behandlung durch Sie zurückzuführen ist.
Wir werden die Rückerstattung unverzüglich und nicht später als 14 Tage nach dem Tag vornehmen, an dem wir über Ihre Entscheidung, diesen Vertrag zu widerrufen, informiert wurden.
Für die Rückerstattung verwenden wir dasselbe Zahlungsmittel, das Sie für die ursprüngliche Transaktion verwendet haben, es sei denn, Sie haben ausdrücklich etwas anderes vereinbart; in keinem Fall werden Ihnen aufgrund einer solchen Rückerstattung Gebühren berechnet.
Wir können die Rückzahlung verweigern, bis wir die Waren wieder zurückerhalten haben oder Sie den Nachweis erbracht haben, dass Sie die Waren zurückgesandt haben, je nachdem, was eher eintritt.
Sie müssen die Waren unverzüglich und in jedem Fall spätestens 14 Tage ab dem Tag, an dem Sie uns über den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an Rarewaves.com UK, Unit 144 The Lightbox, 111 Power Road, W4 5PY, London, London, United Kingdom, zurücksenden oder übergeben. Die Frist ist eingehalten, wenn Sie die Ware vor Ablauf der Frist von 14 Tagen zurücksenden. Sie müssen die direkten Kosten der Rücksendung der Waren tragen. Sie haften nur für einen etwaigen Wertverlust der Waren, der auf eine Behandlung zurückzuführen ist, die nicht zur Prüfung der Art, Eigenschaften und Funktionsweise der Waren erforderlich ist.
Ausnahmen vom Widerrufsrecht
Das Widerrufsrecht gilt nicht für:
- Die Lieferung von Zeitungen, Zeitschriften oder Magazinen mit Ausnahme von Abonnementverträgen; und
- Die Lieferung digitaler Inhalte, die nicht auf einem physischen Medium (z. B. auf einer CD oder DVD) geliefert werden, wenn Sie bei Ihrer Bestellung akzeptiert haben, dass wir mit der Lieferung beginnen können und dass Sie nach Beginn der Lieferung den Vertrag nicht mehr widerrufen können.
Versandbedingungen
Please note that we do not offer Priority shipping to any country.
We currently do not ship to the below countries:
Russia
Belarus
Ukraine
Please do not attempt to place orders with any of these countries as a ship to address - they will be cancelled.