VLSI Technology

Simon Sze

Verlag: Tata McGraw-Hill Education Pvt. Ltd., 2003
ISBN 10: 0070582912 / ISBN 13: 9780070582910
Neu / Softcover / Anzahl: > 20
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Beschreibung:

The book is intended as a textbook for senior undergraduateor first-year graduate students in applied physics, electrical engineering, and materials science; it assumes that the reader has already acquired an introductory understanding of the physics and technology of semiconductor devices. Because it elaboratees on integrated circuit (IC) processing technology in a detailed and comprehensive manner, it can also serve as a reference for those actively involved in integrated circuit fabrication and process development. Table of contents Chapter 1 Crystal Growth and water prepreparation Chapter 2 Epitaxy Chapter 3 Oxidation Chapter 4 Lithography Chapter 5 Reactive Plasma Etching Chapter 6 Dielectric and Polysilicon Film Deposition Chapter 7 Diffusion Chapter 8 Ion Implementation Chapter 9 Metallization Chapter 10 Process Simulation Chapter 11 VLSI Process Integration Chapter 12 Analytical Techniques Chapter 13 Assembly techniques and Pavckaging of VLSI Devices Chapter 14 Yield and Reliability Appendixes Index Printed Pages: 688. Buchnummer des Verkäufers 24470

Über diesen Titel:

Inhaltsangabe: The book is intended as a textbook for senior undergraduateor first-year graduate students in applied physics, electrical engineering, and materials science; it assumes that the reader has already acquired an introductory understanding of the physics and technology of semiconductor devices. Because it elaboratees on integrated circuit (ic) processing technology in a detailed and comprehensive manner, it can also serve as a reference for those actively involved in integrated circuit fabrication and process development.

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Bibliografische Details

Titel: VLSI Technology
Verlag: Tata McGraw-Hill Education Pvt. Ltd.
Erscheinungsdatum: 2003
Einband: Softcover
Zustand: New
Auflage: 2nd edition.

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1.

Sze, Simon M.:
Verlag: Auckland ; Singapore : McGraw-Hill, (1983)
ISBN 10: 007066594X ISBN 13: 9780070665941
Gebraucht Anzahl: 1
Anbieter
Antiquariat Peda
(Landsberg, Hohenthurm, SA, Deutschland)
Bewertung
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Buchbeschreibung Auckland ; Singapore : McGraw-Hill, 1983. 21 cm, Softcover/Paperback, Buchzustand: Gut. XIV, 654 S., graph. Darst., mit s/w. Abbildungen und Illustrationen, Zustand: Ausgabe 1983 , Exemplar in gutem Zustand, Ränder und / oder Cover etwas berieben. Text / Sprache: Englisch , McGraw-Hill series in electrical engineering : Electronics and electronic circuits , International student edition. 4121A ISBN 007066594X Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 690. Artikel-Nr. 28435

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