VLSI Electronics Microstructure Science. Volume 8: Plasma Processing for VLSI.

Einspruch, Norman G. und Dale M. Brown:

ISBN 10: 0122341082 ISBN 13: 9780122341083

Verlag: Orlando u.a., Academic Press,, 1984

Sprache: Deutsch

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XVI, 527 S. mit Abb. Foliertes Bibliotheksexemplar. Mehrfach gestempelt. 71187 0122341082 Sprache: Deutsch Gewicht in Gramm: 1000.

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Bibliografische Details

Titel

VLSI Electronics Microstructure Science. Volume 8: Plasma Processing for VLSI.

Verlag

Orlando u.a., Academic Press,

Erscheinungsjahr

1984

Sprache

Deutsch

ISBN-10

0122341082

ISBN-13

9780122341083

Einband

Gro� 8�. O.Leinen.

Gewicht

1000 Gramm

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