Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Markus Friedel Apel

Verlag: Cuvillier Verlag, 1996
ISBN 10: 3895889385 / ISBN 13: 9783895889387
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Bibliografische Details

Titel: Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2...
Verlag: Cuvillier Verlag
Erscheinungsdatum: 1996
Zustand: New

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Markus Friedel Apel
Verlag: Cuvillier Verlag Jan 1996 (1996)
ISBN 10: 3895889385 ISBN 13: 9783895889387
Neu Taschenbuch Anzahl: 2
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AHA-BUCH GmbH
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Buchbeschreibung Cuvillier Verlag Jan 1996, 1996. Taschenbuch. Buchzustand: Neu. 206x147x12 mm. Neuware - 89 pp. Deutsch. Artikel-Nr. 9783895889387

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