Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Berlin Heidelberg, 1998

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Handbook on most advanced technologies in surface processing of silicon wafers.A totally new concept for clean surface processing of Si wafers is introduced in this book. Some fifty distinguished researchers and engineers from the leading Japanese semic.

Bestandsnummer des Verkäufers 4895705

Titel
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers
Autor
Hattori, Takeshi
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erscheinungsjahr
1998
Zustand
New
Einband
Gebunden
Sprache
Englisch
ISBN-10
3540616721
ISBN-13
9783540616726
Abmessungen
2.7 x 24 x 16
Verkäuferkataloge
Mathematik/Naturwissenschaften/Technik/Medizin

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