Silicon Nitride for Microelectronic Applications : Part 1 Preparation and Properties

Sprache: Englisch

Verlag: Springer US, Springer US, 2013

1468461648 / 9781468461640

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - The large amount of literature on the technology of thin film silicon nitride indi cates the interest of the Department of Defense, NASA and the semiconductor industry in the development and full utilization of the material. This survey is concerned only with the thin film characteristics and properties of silicon nitride as currently utilized by the semiconductor or microelectronics industry. It also includes the various methods of preparation. Applications in microelectronic devices and circuits are to be provided in Part 2 of the survey. Some bulk silicon nitride property data is included for basic reference and comparison purposes. The survey specifically excludes references and information not within the public domain. ACKNOWLEDGEMENT This survey was generated under U.S. Air Force Contract F33615-70-C-1348, with Mr. B.R. Emrich (MAAM) Air Force Materials Laboratory, Wright-Patterson Air Force Base, Ohio acting as Project Engineer. The author would like to acknowledge the assis tance of Dr. Judd Q. Bartling, Litton Systems, Inc., Guidance and Control Systems Division, Woodland Hills, California and Dr. Thomas C. Hall, Hughes Aircraft Company, Culver City, California in reviewing the survey. v CONTENTS Preface. i Introduction 1 Literature Review. 1 Bulk Characteristics 1 Technology Overview. 2 References 4 Methods of Preparation - 5 Introduction - 5 Direct Nitridation Method 8 Evaporation Method - 9 Glow Discharge Method. 10 Ion Beam Method. 13 Sputtering Methods 13 Pyrolytic Methods. 15 Silane and Ammonia Reaction 15 Silicon Tetrachloride and Tetrafluoride Reaction. 24 Silane and Hydrazine Reaction 27 Production Operations. 28 Equipment.

Bestandsnummer des Verkäufers 9781468461640

Titel
Silicon Nitride for Microelectronic Applications : Part 1 Preparation and Properties
Autor
John T. Milek
Verlag
Springer US, Springer US
Veröffentlichungsjahr
2013
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
1468461648
ISBN-13
9781468461640
Artikelgewicht
333 Gramm
Abmessungen
279x210x8 mm

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