Here is the first book to discuss the current understanding of silver metallization and its potential as a future interconnect material for integrated circuit technology. With the lowest resistivity of all metals, silver is an attractive interconnect material for higher current densities and faster switching speeds in integrated circuits. Over the past ten years, extensive research has been conducted to address the issues that have prevented silver from being used as an interconnect metal. The authors provide details on a wide range of experimental, characterization, and analysis techniques. The book is written for students, scientists, engineers, and technologists in the fields of integrated circuits and microelectronics research and development.

�ber die Autorin bzw. den Autor

James W. Mayer is the Galvin Professor of Science and Engineering and Regents Professor at Arizona State University. He has investigated thin film phenomena and metallization for integrated circuits over the past two decades. Previously he was the F.N. Bard Professor of Materials Science at Cornell University and before this, Professor of Electrical Engineering at the California Institute of Technology. He received his Ph.D. in Physics at Purdue University and was a member of the technical staff at Hughes Research Laboratories. He is known for his work on nuclear particle detectors and Rutherford backscattering analysis. He is a Fellow of the IEEE and the American Physical Society and a member of the National Academy of Engineering.

Terry L. Alford is a professor of materials engineering in the Department of Chemical and Materials Engineering at Arizona State University. Dr Alford received his Ph.D. from Cornell University and was previously employed by Texas Instruments. He has had extensive consulting experience with Philips Semiconductors, Freescale Semiconductors, and Motorola. He has published extensively on the properties of thin films and the use of analysis techniques to characterize the films.

Daniel Adams is a professor of physics in the Department of Physics at the University of the Western Cape, South Africa. He has extensively investigated silver and copper metallization for the past ten years. Dr Adams received his PhD in Materials Engineering from Arizona State University, USA.

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Wenn Sie diesen Vertrag widerrufen, haben wir Ihnen alle Zahlungen, die wir von Ihnen erhalten haben, einschlie�lich der Lieferkosten (mit Ausnahme der zus�tzlichen Kosten, die sich daraus ergeben, dass Sie eine andere Art der Lieferung als die von uns angebotene, g�nstigste Standardlieferung gew�hlt haben), unverz�glich und sp�testens binnen vierzehn Tagen ab dem Tag zur�ckzuzahlen, an dem die Mitteilung �ber Ihren Widerruf dieses Vertrags bei uns eingegangen ist. F�r diese R�ckzahlung verwenden wir dasselbe Zahlungsmittel, das Sie bei der urspr�nglichen Transaktion eingesetzt haben, es sei denn, mit Ihnen wurde ausdr�cklich etwas anderes vereinbart; in keinem Fall werden Ihnen wegen dieser R�ckzahlung Entgelte berechnet. Wir k�nnen die R�ckzahlung verweigern, bis wir die Waren wieder zur�ckerhalten haben oder bis Sie den Nachweis erbracht haben, dass Sie die Waren zur�ckgesandt haben, je nachdem, welches der fr�here Zeitpunkt ist. Sie haben die Waren unverz�glich und in jedem Fall sp�testens binnen vierzehn Tagen ab dem Tag, an dem Sie uns �ber den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an Romtrade Corp., 39137 BYERS DR., 48310, STERLING HEIGHTS, Michigan, U.S.A., +1 586-977-9198, zur�ckzusenden oder zu �bergeben. Die Frist ist gewahrt, wenn Sie die Waren vor Ablauf der Frist von vierzehn Tagen absenden.

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