Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

Sprache: Englisch

Verlag: CRC Press, 2000

0849311780 / 9780849311789

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James Moyne, Enrique del Castillo, Arnon M. HurwitzRun-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine runs, thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. It.

Bestandsnummer des Verkäufers 898898613

Titel
Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Autor
Moyne, James|Hurwitz, A. M.
Verlag
CRC Press
Erscheinungsjahr
2000
Zustand
New
Einband
Gebunden
Sprache
Englisch
ISBN-10
0849311780
ISBN-13
9780849311789

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