Rare-Earth Implanted MOS Devices for Silicon Photonics : Microstructural, Electrical and Optoelectronic Properties

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Berlin Heidelberg, 2012

3642265588 / 9783642265587

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - The book concentrates on the microstructural, electric and optoelectronic properties of rare-earth implanted MOS structures and their use as light emitters in potential applications. It describes the structural formation processes in the gate oxide during fabrication and under operation, how this microstructure development will affect the electrical device performance and how both microstructure and electrical characteristics determine the optoelectronic features of the light emitters. However, most of the discussed physical processes as well as the described fabrication methods and device characterization techniques are of general interest and are beyond the scope of this type of light emitter. The book will be of value to engineers, physicists, and scientists dealing either with Si based photonics in particular or optoelectronic device fabrication and characterization in general.

Bestandsnummer des Verkäufers 9783642265587

Titel
Rare-Earth Implanted MOS Devices for Silicon Photonics : Microstructural, Electrical and Optoelectronic Properties
Autor
Lars Rebohle
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erscheinungsjahr
2012
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3642265588
ISBN-13
9783642265587
Artikelgewicht
300 Gramm
Abmessungen
235x155x11 mm

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