Plasma Processing of Materials : Scientific Opportunities and Technological Challenges

Commission on Physical Sciences, Mathematics, and Applicatio, Panel on Plasma Processing of Materials Staff, National Research Council Staff, Division on Engineering and Physical Sciences Staff, Board on Physics and Astronomy Staff

ISBN 10: 0309045975 ISBN 13: 9780309045971
Verlag: National Academies Press, 1991
Sprache: Englisch
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