Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-assembly Lithography

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Nature, 2019

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Titel
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-assembly Lithography
Autor
Shim, Seongbo/ Shin, Youngsoo
Verlag
Springer Nature
Veröffentlichungsjahr
2019
Zustand
Brand New
Einband
Paperback
Sprache
Englisch
ISBN-10
3030094553
ISBN-13
9783030094553

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