Optical Imaging in Projection Microlithography

Sprache: Englisch

Verlag: SPIE Press, 2005

0819458295 / 9780819458292

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An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can .

Bestandsnummer des Verkäufers 2146021731

Titel
Optical Imaging in Projection Microlithography
Autor
Alfred K. Wong
Verlag
SPIE Press
Erscheinungsjahr
2005
Zustand
New
Einband
Einband - flex.(Paperback)
Sprache
Englisch
ISBN-10
0819458295
ISBN-13
9780819458292

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