Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, 2015

3662488140 / 9783662488140

Serie: Buch 73 von 797 - Springer Theses

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Zustand: Sehr gut | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher | This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials. This fabrication technology has been systematically investigated by using experimental measurements, mechanism analyses, theoretical simulations and so on. Three common materials (i.e., silicon, PDMS and Parylene-C) with micro/nano hierarchical structures have been successfully fabricated, which also show several attractive properties. Furthermore, this book introduces this fabrication technology into microenergy field, and proposes several high-performance nanogenerators, of which practical applications have also been studied in commercial electronic device and biomedical microsystem.

Bestandsnummer des Verkäufers 26214885/12

Titel
Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting
Autor
Zhang, Xiao-Sheng
Verlag
Springer
Erscheinungsjahr
2015
Zustand
Sehr gut
Einband
Hardcover
Sprache
Englisch
ISBN-10
3662488140
ISBN-13
9783662488140
Serie
Buch 73 von 797: Springer Theses
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