This is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. It describes sensors, actuators, and microfluidics, and their relationship with MEMS. The book has a tested pedagogical structure and an accessible writing style. Num Pages: 460 pages, 20 black & white tables, biography. BIC Classification: PHD; TGM; TJF; TJFC. Category: (G) General (US: Trade). Dimension: 235 x 155 x 24. Weight in Grams: 700. . 2014. Paperback. . . . . Books ship from the US and Ireland.

Bestandsnummer des Verk�ufers V9781489984210

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Bibliografische Details

Titel: Introductory Mems
Verlag: Springer-Verlag New York Inc.
Erscheinungsjahr: 2014
Sprache: Englisch
ISBN-10: 1489984216
ISBN-13: 9781489984210
Einband: Softcover
Zustand: New

�ber diesen Titel

Inhaltsangabe

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter.

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.

�ber die Autorin bzw. den Autor

Charlotte y Peter Fiell son dos autoridades en historia, teor�a y cr�tica del dise�o y han escrito m�s de sesenta libros sobre la materia, muchos de los cuales se han convertido en �xitos de ventas. Tambi�n han impartido conferencias y cursos como profesores invitados, han comisariado exposiciones y asesorado a fabricantes, museos, salas de subastas y grandes coleccionistas privados de todo el mundo. Los Fiell han escrito numerosos libros para TASCHEN, entre los que se incluyen 1000 Chairs, Dise�o del siglo XX, El dise�o industrial de la A a la Z, Scandinavian Design y Dise�o del siglo XXI.

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