Neuware -Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter.Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 460 pp. Englisch.

Bestandsnummer des Verk�ufers 9780387095103

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Bibliografische Details

Titel: Introductory MEMS
Verlag: Springer New York Dez 2009
Erscheinungsjahr: 2009
Sprache: Englisch
ISBN-10: 0387095101
ISBN-13: 9780387095103
Einband: Buch
Zustand: Neu
Abmessungen: Breite: 241 mm, H�he: 160 mm, Tiefe: 33 mm
Gewicht: 936 Gramm

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Inhaltsangabe

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter. Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.

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Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter.

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.

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