Introduction to Microlithography

Sprache: Englisch

Verlag: American Chemical Society, 1994

0841228485 / 9780841228481

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Reviews the theory, materials and processes that are used in the lithographic process. It opens with a brief historical introduction to microlithography, and then discusses four major topics - the physics of the lithographic process, organic resist material.

Bestandsnummer des Verkäufers 595088890

Titel
Introduction to Microlithography
Autor
Thompson, Larry F.
Verlag
American Chemical Society
Erscheinungsjahr
1994
Zustand
New
Einband
Gebunden
Sprache
Englisch
ISBN-10
0841228485
ISBN-13
9780841228481
Auflage
2. Auflage

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