2000; Boston; illustrated, glossy paper covered boards; light wear with some residue on front cover at the top corner; interior is clean and unmarked; 8vo, 7 3/4" to 9 3/4" tall; 265 pages.

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Bibliografische Details

Titel: An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Verlag: Artech House Print on Demand
Erscheinungsjahr: 2000
Sprache: Englisch
ISBN-10: 0890065810
ISBN-13: 9780890065815
Einband: Hardcover
Auflage: 2. Auflage
Zustand: Very Good
Gewicht: 25�Unzen

�ber diesen Titel

Inhaltsangabe

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

�ber die Autorin bzw. den Autor

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

��ber diesen Titel� kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

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