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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Maluf, Nadim

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ISBN 10: 0890065810 / ISBN 13: 9780890065815
Verlag: Norwood, Massachusetts, U.S.A.: Artech House on Demand, 2000
Gebraucht Zustand Wie neu Hardcover
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Auflage 2000, Hardcover, ungelesen, kein Mängelexemplar. Buchnummer des Verkäufers ABE-1077926712

Über diesen Titel:

Inhaltsangabe:

Provides a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describe in detail the materials used in producing MEMS-including silicon, polymers, and glass and quartz substrates-as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications. DLC: Microelectromechanical systems.

Über den Autor: Nadim Maluf is vice president of New Focus, Inc. and a consulting professor of electrical engineering at Stanford University. A best-selling author in the area of MEMS technology, Dr. Maluf earned his Ph.D. in electrical engineering at Stanford University. Kirt Williams is a MEMS consultant based in California's Silicon Valley. Formerly, he was a member of the technical staff at Agilent Technologies. He received his Ph.D. and M.S. in electrical engineering from the University of California at Berkeley.

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Bibliografische Details

Titel: An Introduction to Microelectromechanical ...

Verlag: Norwood, Massachusetts, U.S.A.: Artech House on Demand

Erscheinungsdatum: 2000

Einband: Hardcover

Zustand: Wie neu

Auflage: 2. Auflage

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