Hf-Based High-k Dielectrics: Process Development, Performance Characterization, and Reliability (Synthesis Lectures on Solid State Materials and Devices)

Kim, Young-Hee; Lee, Jack C.

ISBN 10: 3031014243 ISBN 13: 9783031014246
Verlag: Springer, 2007
Sprache: Englisch
Zustand: Neu Softcover

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