Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Micro and Nano Technologies)
Sprache: Englisch
Verlag: William Andrew, 2010
- Hardcover
- Gebraucht

Anbieter: Phatpocket Limited, Waltham Abbey, HERTS, Vereinigtes KönigreichPhatpocket Limited
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- Titel
- Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Micro and Nano Technologies)
- Verlag
- William Andrew
- Erscheinungsjahr
- 2010
- Zustand
- Good
- Einband
- Hardcover
- Sprache
- Englisch
- ISBN-10
- 0815515944
- ISBN-13
- 9780815515944
A comprehensive guide to MEMS materials, technologies and manufacturing, examining the state of the art with a particular emphasis on current and future applications.
Key topics covered include:
- Silicon as MEMS material
- Material properties and measurement techniques
- Analytical methods used in materials characterization
- Modeling in MEMS
- Measuring MEMS
- Micromachining technologies in MEMS
- Encapsulation of MEMS components
- Emerging process technologies, including ALD and porous silicon
Written by 73 world class MEMS contributors from around the globe, this volume covers materials selection as well as the most important process steps in bulk micromachining, fulfilling the needs of device design engineers and process or development engineers working in manufacturing processes. It also provides a comprehensive reference for the industrial R&D and academic communities.
- Veikko Lindroos is Professor of Physical Metallurgy and Materials Science at Helsinki University of Technology, Finland.
- Markku Tilli is Senior Vice President of Research at Okmetic, Vantaa, Finland.
- Ari Lehto is Professor of Silicon Technology at Helsinki University of Technology, Finland.
- Teruaki Motooka is Professor at the Department of Materials Science and Engineering, Kyushu University, Japan.
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Über die Autorin bzw. den Autor
Dr. Mervi Paulasto-Kröckel is professor at Aalto University School of Electrical Engineering in Finland. She studied materials science and semiconductor technology in Helsinki University of Technology, and gradudated as MSc Tech in 1990. She continued her studies in the Technical Universities of Aachen (RWTH Aachen) and Helsinki and attained her doctoral degree in 1995. After a 2-years post-doctoral appointment at the Joint Research Centre of European Commission in the Netherlands, her professional career continued in the electronics industry. She was a Staff Principal Engineer at Motorola Semiconductor Products Sector in Munich. In 2004 Paulasto-Kröckel joined Infineon Technologies where she was the Director Package Development responsible for semiconductor assembly and interconnect development for automotive products worldwide.
At the end of 2018 Dr. Paulasto-Kröckel became a professor at Helsinki University of Technology, which is now called Aalto University after a merger with two other leading universities in the Helsinki area. Her current research focus is on advanced materials and interconnect technologies for MEMS/NEMS and power electronics, as well as multi-material assemblies behavior under different loads and their characteristic failure mechanisms. Her group has extensive experience in studying interactions and interfacial reactions between dissimilar materials, such as different oxide and nitride materials, metals and semiconductors. The group has developed a combined methodology approach to solve multi-materials compatibility issues in microelectronics and microsystems.
Prof. Paulasto-Kröckel has over 110 international publications in the fields of microelectronics packaging and interfacial compatibility of dissimilar materials. She is IEEE EPS Distinguished Lecturer and a member of the Finnish Academy of Technical Sciences.
Teruaki Motooka received PhD degree in 1981 in Applied Physics from Kyushu University. He was a research scientist in the Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. for 1971-1984, a visiting research assistant professor at University of Illinois at Urbana-Champaign, USA for 1984-1988, an associate professor in the Institute of Applied Physics at University of Tsukuba, Japan for 1988-1993, and became a full professor at Kyushu University in 1993. He retired from Kyushu University in 2010.
He has published more than 150 scientific papers on various international journals and these papers have been cited more than 2000 times.
Veikko Lindroos is Professor Emeritus, Physical Metallurgy and Materials Science, Aalto University, Finland. His research covers a broad spectrum of materials science and technology, such as metallic materials, silicon technology and MEMS materials magnetic, electronic and composite materials as well as shape memory effect and materials.
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