Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry
Ashutosh Misra
Verkauft von AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
AbeBooks-Verkäufer seit 14. August 2006
Neu - Hardcover
Zustand: Neu
Anzahl: 2 verfügbar
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In den Warenkorb legenNeuware - Eine Sammlung der wichtigsten und nützlichsten Daten von Chemikalien und technischen Gasen, die in der Halbleiterindustrie benötigt werden! Physikalische Kenngrößen und Sicherheitsinformationen von über 270 Substanzen wurden hier in alphabetischer Reihenfolge zusammengetragen. Unter anderem finden Sie Hinweise zu chemischen Prozessen und Anwendungen, zur sicheren Handhabung der Chemikalien, zum Verhalten bei Unfällen, zur Abfallentsorgung, zu Reinheitsanforderungen und auch zu Lieferanten. Jeder Eintrag wird durch Literaturhinweise ergänzt. Mit ausführlichen Querverweisen!
Bestandsnummer des Verkäufers 9780471316718
The fabrication of semiconductor devices involves a series of complex chemical processes such as photolithography, etching, cleaning, thin film deposition, and polishing. Until now, there has been no convenient source of information on the properties, applications, and health and safety considerations of the chemicals used in these processes. The Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry meets this need.
Each of the Handbook's eight chapters is related to a specific area of semiconductor processing. The authors provide a brief overview of each step in the process, followed by tables containing physical properties, handling, safety, and other pertinent information on chemicals and gases typically used in these processes. The 270 chemical and gas entries include data on physical properties, emergency treatment procedures, waste disposal, and incompatible materials, as well as descriptions of applications, chemical mechanisms involved, and references to the literature. Appendices cross-reference entries by process, chemical name, and CAS number.
The Handbook's eight chapters are:
Thin Film Deposition Materials
Wafer Cleaning Materials
Photolithography Materials
Wet and Dry Etching Materials
Chemical Mechanical Planarizing Methods
Carrier Gases
Uncategorized Materials
Semiconductor Chemicals Analysis
No other single source brings together these useful and important data on chemicals and gases used in the manufacture of semiconductor devices. The Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry will be a valuable reference for process engineers, scientists, suppliers to the semiconductor industry, microelectronics researchers, and students.
ASHUTOSH MISRA is Director of Applications and New Product Development for Air Liquide Electronics, Inc.
JEREMIAH D. HOGAN is Director of Physical Analysis Laboratories for Texas Instruments, Inc.
RUSSELL A. CHORUSH is an associate at the law firm of Conley, Rose and Tayon, PC.
„Über diesen Titel“ kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.
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Sie haben die Waren unverzüglich und in jedem Fall spätestens binnen vierzehn Tagen ab dem Tag, an dem Sie uns über den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an uns zurückzusenden oder zu übergeben. Die Frist ist gewahrt, wenn Sie die Waren vor Ablauf der Frist von vierzehn Tagen absenden.
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