Fundamental Principles of Optical : The Science of Microfabrication

Chris Mack

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Sprache: Englisch

Verlag: John Wiley & Sons Inc Jan 2008, 2008

0470727306 / 9780470727300

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Neuware - The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components.By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate.This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter.

Bestandsnummer des Verkäufers 9780470727300

Titel
Fundamental Principles of Optical : The Science of Microfabrication
Autor
Chris Mack
Verlag
John Wiley & Sons Inc Jan 2008
Erscheinungsjahr
2008
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
0470727306
ISBN-13
9780470727300
Artikelgewicht
911 Gramm
Abmessungen
244x170x29 mm

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