Fundamental Principles of Optical Lithography

CA Mack

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Sprache: Englisch

Verlag: John Wiley & Sons, 2007

0470727306 / 9780470727300

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The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films.

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Titel
Fundamental Principles of Optical Lithography
Autor
CA Mack
Verlag
John Wiley & Sons
Erscheinungsjahr
2007
Zustand
New
Einband
Softcover
Sprache
Englisch
ISBN-10
0470727306
ISBN-13
9780470727300
Abmessungen
3.3 x 24.5 x 17

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