This book discusses the main issues of fabrication and design, and applications of micromachined resonant devices, including techniques commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). Concepts of resonance are introduced, with an overview of fabrication techniques for micromachined devices – important to understand as design options will depend on how the device will be fabricated. Also explained: excitation and signal detection methods; an analytic model of device behavior (a valuable design tool); numerical simulation techniques; issues of damping and noise for resonant MEMS; electronic interfacing; packaging issues; and numerous examples of resonant MEMS from academia and industry.

�ber die Autorin bzw. den Autor:

Charlotte y Peter Fiell son dos autoridades en historia, teor�a y cr�tica del dise�o y han escrito m�s de sesenta libros sobre la materia, muchos de los cuales se han convertido en �xitos de ventas. Tambi�n han impartido conferencias y cursos como profesores invitados, han comisariado exposiciones y asesorado a fabricantes, museos, salas de subastas y grandes coleccionistas privados de todo el mundo. Los Fiell han escrito numerosos libros para TASCHEN, entre los que se incluyen 1000 Chairs, Dise�o del siglo XX, El dise�o industrial de la A a la Z, Scandinavian Design y Dise�o del siglo XXI.

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