Extreme Ultraviolet Lithography

Sprache: Englisch

Verlag: SPIE Press Mär 2026, 2026

1510692533 / 9781510692534

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Neuware - In this second edition of Extreme Ultraviolet Lithography, coverage is maintained on the fundamental aspects of EUV lithographic technology for topics such as exposure tools, light sources, masks, resists, process control, metrology, and computational lithography. Lithography costs, which have often influenced areas of technical focus, are also discussed. Many updates are included that reflect the significant advances in EUV lithography since the publication of the first edition. All topics are approached from the perspective of a practicing lithographer in a wafer fab, working in either manufacturing or development, and there are many references at the end of each chapter.

Bestandsnummer des Verkäufers 9781510692534

Titel
Extreme Ultraviolet Lithography
Autor
Harry J. Levinson
Verlag
SPIE Press Mär 2026
Erscheinungsjahr
2026
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
1510692533
ISBN-13
9781510692534
Auflage
2. Auflage
Artikelgewicht
744 Gramm
Abmessungen
255x178x20 mm

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